Semicon. Wafer cleaning

C3100 (Ringframe Wafer Cleaning System)

• Ring frame 웨이퍼 표면에 존재하는 각종 파티클성 오염물질을 제거합니다.
• 카셋트 로딩 방식으로 전공정 자동화 시스템입니다.

• < Ringframe wafer cleaning – C3100 >