EUV Mask EUV Pellicle Analysis System

SOL T 5.0

• SE, SR, ST 통합
• Auto Align과 Auto Mapping을 기반으로 간편하고 견고한 작동
• ARC(TaON), Abs(TaN), Cap(Ru), MoSi 다층 및 펠리클의 두께, 조성 및 광학 특성 분석
• 초박막 금속(Ru, TaXY), Mo silicide의 두께 측정