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제품소개

제품소개

EUV Mask EUV Pellicle Analysis System

SOL T 5.0

  • SE, SR, ST 통합
  • Auto Align과 Auto Mapping을 기반으로 간편하고 견고한 작동
  • ARC(TaON), Abs(TaN), Cap(Ru), MoSi 다층 및 펠리클의 두께, 조성 및 광학 특성 분석
  • 초박막 금속(Ru, TaXY), Mo silicide의 두께 측정