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제품소개

제품소개

EUV Mask Cleaning System

SOL C 5.0

  • EUV 마스크 친환경 드라이클리닝 기술
  • 세계 최초 3세대 노즐 – MicroJet®
  • IMT 특허 액화 CO2 공급 방법
  • 효율적인 클리닝을 위한 다양한 각도 조절
  • 마스크 AFM 재생 후 잔재 제거