EUV Mask Cleaning System

SOL C 5.0

• EUV 마스크 친환경 드라이클리닝 기술
• 세계 최초 3세대 노즐 – MicroJet®
• IMT 특허 액화 CO2 공급 방법
• 효율적인 클리닝을 위한 다양한 각도 조절
• 마스크 AFM 재생 후 잔재 제거