EUV Mask Annealing System

SOL A 5.0

• 반도체 노광 공정용 EUV 마스크의 레이저 어닐링
• 레이저 처리를 통한 반사율 제어
• 화학적 방법보다 간단하여 공정 단계 감소
• 현장에서 검증된 시스템: HVM(대량 제조)에 소프트웨어 안정성 및 견고성