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We provide
“Dry Cleaning” and
“EUV Mask” solutions
by using Laser and
CO₂ Jet.

(주)아이엠티는 반도체 및 첨단 IT산업용 건식 세정(Dry Cleaning)과
EUV Mask solutions 기술을 개발하고 발전시켜 왔습니다.

Laser Cleaner

레이저 세정기

Mobile Laser Cleaner
Automatic Laser Cleaner

CO₂ Cleaner

CO₂ 세정기

MicroJet^® Cleaner
Automatic CO₂ Jet Cleaner

EUV Mask solutions

EUV 마스크 솔루션

Annealing / Baking /
Cleaning / Analysis

Cleaning
Innovation

20여년간 일관되게 건식세정 기술을 개발해 오면서
수없이 많은 고객사와 제조공정을 경험할 수 있었습니다.

연결된 동영상에서
성공적인 적용 사례들을 참조하시기 바랍니다.

Q&A (제품 기술 문의)

아이엠티에 문의 주셔서 감사합니다.
빠르고 친절하게 연락 드리도록 하겠습니다.

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Innovative Manufacturing Technology

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