EUV Mask EUV Pellicle Analysis System

SOL T 5.0

• SE、SR、ST 的整合
• 基于自动对齐和自动映射的简单而稳健的操作
• ARC(TaON)、Abs(TaN)、Cap(Ru)、MoSi 多层膜和薄膜的厚度、成分和光学特性表征
• 超薄金属(Ru、TaXY) 和硅化钼的厚度测量