EUV Mask Cleaning System

SOL C 5.0

• EUV掩模环保干洗技术
• 世界首创第三代喷嘴 – MicroJet®
• IMT 专利液化二氧化碳输送
• 多种角度高效清洁
• 掩模 AFM 返工后残留物去除