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Our Innovative Solutions
for the Semicon Industry

■ Dry Cleaning via Laser or CO2 Jet Technology.
■ EUV Mask Baking and Annealing.
■ Precision Chemical Metrology.

IMT 二十年多来一直致力于开发和提升面向半导体及尖端IT产业的
干式清洗（Dry Cleaning）、EUV光罩解决方案（EUV Mask Solutions）
以及化学计量分析（Chemical Metrology）技术。

Laser Cleaner

Laser 洗涤机

Mobile Laser Cleaner
Automatic Laser Cleaner

CO₂ Cleaner

CO₂ 洗涤机

MicroJet^® Cleaner
Automatic CO₂ Jet Cleaner

EUV Mask solutions

EUV 面膜解决方案

Annealing / Baking /
Cleaning / Analysis

Cleaning
Innovation

在20多年的时间里，一贯的开发着干洗技术，
体验了无数的客户公司和制造工程。

请参考链接视频
中的成功适用事例。

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Innovative Manufacturing Technology

16675 京畿道水原市灵通区新院路 306，1栋8楼（远川洞，Inno-Flex 1栋8楼）

Semiconductor (+82-31-8047-3420)
Laser (+82-31-8047-3432 / +82-31-8047-3423)
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