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Automated Analysis Platform: 분석 자동화를 운영 데이터로 확장

[Equipment Overview]

- Wafer · Chemical · Gas · Particle 분석 설비를 하나의 운영 플랫폼으로 연결

- 전처리부터 분석, 검량, 결과, 이력과 Alarm까지 통합해 무인·표준·확장형 분석 자동화와 신뢰성 있는 운영 데이터를 구현

- iLAB : IMT 자체 개발 통합 자동화 플랫폼 운영

[Performance]

• Auto Calibration: 표준액 자동 희석 · 검량

• Multi-Analyzer: ICP-MS/OES · SPE · IC · GC-MS · FTIR 연동

• Auto Trigger: Feed / Trigger 기반 자동 분석

• Data: Recipe · Scheduler · QC · Trend · History · Alarm

• Connectivity: SECS/GEM · MES 연계

• CS Log: PM · BM · Spare · Upgrade · Remote Log 통합