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 Chemion-AFE / Chemion-CDS

CHEMION: Chemical Monitoring & Sample Preparation

[Equipment Overview]

- 고순도 Chemical의 Sampling · Filtering · Dilution · Calibration · Analysis를 하나의 흐름으로 자동화

- Chemical Incoming · Tank · Supply Line에서 ICP-MS/ICP-OES와 직접 연계하여 작업자 접촉과 오염 가능성을 줄이고 실시간 Trend를 제공

[Performance]

• 측정 범위: ppt ~ ppm

• 자동 희석: 최대 ×8,000

• 자동 검량선: R² ≥ 0.995

• 자동 여과: 1 ~ 10 μm 선택

• 분석 장비: ICP-MS / ICP-OES 직접 연동

• 운전 방식: Automated · Online Trend Monitoring