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LASER / CO

LASER / CO₂

Semicon. Parts cleaning

100P + automation (Semicon. Parts cleaning system )

  • 可自动去除半导体装备各部件的各种污染物质。
  • 最大洗涤面积为直径500mm。

  • < Semicon parts cleaning (镭射 - 洗涤半导体部件) >