LASER / CO₂
Semicon. probe card cleaning
400P-A / #400P-S (Probe card cleaning system)
- 检查半导体晶圆的Probe card洗涤装备,利用镭射去除Probe tip表面的污染。
- 根据Probe card的种类,制定作业recipe后,自动洗涤。
- 有自动、半自动、手动装备。
< Probe card cleaning - 400P (镭射洗涤机) >
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